학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학과, 2012.2, [ vi, 42 p. ]
3D diffuser lithography; Microlens array(MLA); self-aligned metal mask; self-aligned diffuser lithography; 마이크로렌즈 어레이; 3차원 디퓨저 리소그래피; 자기정렬 금속 마스크; 자기정렬 디퓨저 리소그래피; 균일도; uniformity
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