학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과, 2011.2, [ vii, 58 p. ]
Film bulk acoustic resonator (FBAR); N-incorporated ZnO thin films; 박막 벌크 음향 공진기; 질소 주입 산화 아연 박막; 마그네트론 스퍼터링; RF magnetron sputtering
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