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157 nm 광 리소그래피용 a-Si 박막과 Si-O-N 박막의 광학 특성 분석 = Optical properties of a-Si films and Si-O-N films for 157 nm optical lithographylink 김성관; Kim, Sung-Kwan; et al, 한국과학기술원, 2003 |
레이저 박리 기술을 이용한 플렉서블 전자소자 제작 및 특성 평가 = Fabrication and characterization of flexible electronic devices by usnig laser lift-off techniquelink 손정환; Son, Jung-Hwan; 이건재; Lee, Keon-Jae; et al, 한국과학기술원, 2014 |
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