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(A) study on the atomic layer deposition of Ru and $RuO_2$ thin films = Ruthenium과 ruthenium oxide 박막의 ALD 증착과 특성에 관한 연구link Kim, Jae-Hoon; 김재훈; et al, 한국과학기술원, 2003 |
DC reactive sputtering법을 이용한 $RuO_x$ 하부전극 형성과 고유전 $(Ba,Sr)TiO_3$ 박막의 특성 평가에 관한 연구 = Preparation of $RuO_x$ bottom electrode by DC reactive sputtering and characterization of $(Ba,Sr)TiO_3$ thin filmslink 안준형; Ahn, Joon-Hyung; et al, 한국과학기술원, 1998 |
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