Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Subject 마그네트론 스퍼터링
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| D.C. 마그네트론 반응성 스퍼터링법으로 증착한 ITO박막에 있어서 고유응력, 배향성 그리고 밀도가 비저항에 미치는 영향 = Effect of density, intrinsic stress and crystallographic orientation on resistivity of ITO thin films deposited by D.C. magnetron reactive sputteringlink 이정일; Lee, Jung-Il; et al, 한국과학기술원, 2000 |
| RF magnetron sputtering 증착공정에서 플라즈마 특성과 비정질 $CN_x$ 박막성질의 상관관계에 관한 연구 = A study on the correlation between the plasma and amorphous $CN_x$ film characteristics using RF magnetron sputteringlink 노기민; Roh, Ki-Min; et al, 한국과학기술원, 2011 |
| 요동자석 스퍼터링 시스템에서의 타겟식각에 관한 연구 = Study on target erosion in rocking magnet sputtering systemlink 이도선; Lee, Do-Sun; et al, 한국과학기술원, 2004 |
| 평면 마그네트론 스퍼터링 시스템에서의 타겟 효율 향상을 위한 연구 = Enhancement of target utilization in a planar magnetron sputtering systemlink 서태원; Seo, Tae-Won; et al, 한국과학기술원, 2004 |
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- 2,030 2020 - 2024
- 6,675 2010 - 2019
- 5,357 2000 - 2009
- 3,582 1990 - 1999
- 982 1980 - 1989