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A study on the step coverage modeling of thin films in atomic layer deposition = 원자층 증착법으로 형성된 박막의 단차 피복성 예측을 위한 모델링에 관한 연구link Kim, Ja-Yong; 김자용; et al, 한국과학기술원, 2007 |
ECR-PEMOCVD법으로 제조한 $SrTiO_3$ 박막의 단차 피복성에 관한 연구 = A study on the step coverage of $SrTiO_3$ thin films fabricated using ECR-PEMOCVDlink 박순연; Park, Soon-Yon; et al, 한국과학기술원, 2000 |
Ru 전구체의 열분해 메카니즘과 Ru 박막의 화학기상 증착 = Thermal decomposition mechanism of Ru precursor and chemical vapor deposition of Ru filmslink 최종완; Choi, Jong-Wan; et al, 한국과학기술원, 2004 |
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