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Stress charaterization of thin film materials and fabrication of FPW device = 박막소재의 응력특성 분석과 FPW 소자 제조link Lee, Chang-Seung; 이창승; Wee, Dang-Moon; No, Kwang-Soo; et al, 한국과학기술원, 2000 |
기상유도결정화법 및 Hot-wire CVD 방법을 이용한 대결정립 다결정 Si 박막 성장에 관한 연구 = Growth of large-grained poly-Si film using vapor-induced crystallization and hot-wire CVDlink 강승모; Kang, Seung-Mo; et al, 한국과학기술원, 2012 |
저온 열처리 공정에 의한 LCD-TFT용 poly-Si 박막의 제조에 관한 연구 = A study on the fabrication of poly-Si films for LCD-TFT by low-temperature annealing processlink 김해열; Kim, Hae-Yeol; et al, 한국과학기술원, 2000 |
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