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Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Subject 강유전성▼a하프늄-지르코늄 옥사이드▼a루테늄 옥사이드▼a원자층 증착법▼a타이타늄 나이트라이드▼a금속-강유전체-금속 캐패시터▼a산소 결원▼a신뢰성▼a웨이크-업 효과▼a비휘발성 메모리

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(A) study on the material, electrical and reliability properties of $Hf_{0.5}Zr_{0.5}O_2$ based ferroelectric devices with $RuO_2$ electrodes by atomic layer deposition = 원자층 증착법을 이용한 루테늄 옥사이드 산화물 전극에 따른 하프늄-지르코늄 옥사이드 기반 강유전체 소자의 물성 분석, 전기적 특성과 신뢰성 특성 연구link

Cho, Sung Hyun; Park, Sang Hee; et al, 한국과학기술원, 2019

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