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공구강위에 플라즈마 화학증착, Cathodic arc ion plating 및 DC reactive magnetron sputtering한 TiN 박막의 물성에 관한 연구 = A study on the properties of Tin coatings by plasma assisted CVD, cathodic Arc ion plating and DC reactive magnetron sputtering on SKH9link 정병진; Jeong, Byeong-Jin; et al, 한국과학기술원, 1992 |
플라즈마 화학증착법, 이온 플레이팅법 및 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성 비교 연구 안치범; 정병진; 이원종; 천성순, 한국세라믹학회지, v.31, no.7, pp.731 - 738, 1994-04 |
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