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ECR-PECVD 법으로 증착된 $Al_2O_3$ 박막의 증착 특성에 관한 연구 = Deposition characteristics of the ECR-PECVD $Al_2O_3$ thin filmslink 이재균; Lee, Jae-Kuin; et al, 한국과학기술원, 1994 |
ECR-PECVD법으로 증착된 Al2O3절연 박막의 특성에 관한 연구 이원종; 이재균; 전병혁, 한국재료학회 춘계학술연구발표회 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
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