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규소기판집합에 있어서의 기공발생 강상원; 안근영; 정귀상; 윤선진, 한국센서학회 92센서기술학술대회 논문집, 1992 |
다결정 규소 미세구조체의 Adhesion 현상연구 강상원; 박경호; 안근영; 남기수, 한국센서학회 센서기술 학술대회, pp.299 - 303, 1993 |
미세가공기술을 위한 규소 기판접합 강상원; 안근영; 윤선진; 이경수; 정귀상, 한국센서학회 92센서기술학술대회 논문집, 1992 |
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