Showing results 1 to 4 of 4
Cu 확산방지용 TCP MOCVD Ta(Si)N 박막 증착 및 특성에 관한 연구 = Deposition and characterization of TCP MOCVD Ta(Si)N thin films as diffusion barrier for Culink 박혜련; Park, Hye-Lyun; et al, 한국과학기술원, 2002 |
TCP MOCVD TaN 박막증착 및 특성에 관한 연구 이원종; 박혜련, 한국재료학회 춘계학술발표대회, pp.0 - 0, 2000-05-01 |
금속 알콕사이드로부터 제조한 $Al_2O_3$-15vol% $ZrO_2$세라믹스의 분말특성 및 소결거동에 관한 연구 = Powder characteristics and sintering behavior of $Al_2O_3$-15vol% $ZrO_2$ ceramics prepared from metal alkoxideslink 박혜련; Park, Hye-Lyun; et al, 한국과학기술원, 1988 |
증착온도와 La조성비가 ECR 플라즈마 화학기상증착법으로 증착한 (Pb, La)TiO3 박막의 물성에 미치는 영향 정성웅; 박혜련; 이원종, KOREAN JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH, v.7, no.0, pp.196 - 202, 1997-04 |
Discover