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Cantilever set, detection device, method of analyzing surface and method of forming micropattern 김상욱; 이경미; 박정주; 권승철; 김은성; 이시용; 최영주 |
원자힘 현미경용 캔틸레버 세트, 이를 포함하는 기판 표면 검사 장치, 이를 이용한 반도체 기판의 표면 분석 방법 및 이를 이용한 미세 패턴 형성 방법 김상욱; 이경미; 박정주; 권승철; 김은성; 이시용; 최영주 |
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