Showing results 1 to 2 of 2
Magnetron sputtering system에서의 타겟효율성 향상에 관한 연구 이원종; 서태원; 권의희; 박용호, 한국반도체장비학회, 2003-12-12 |
평면 마그네트론 스퍼터링 시스템에서의 타겟 효율 향상을 위한 연구 = Enhancement of target utilization in a planar magnetron sputtering systemlink 서태원; Seo, Tae-Won; et al, 한국과학기술원, 2004 |
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