Showing results 5 to 6 of 6
Thermal stability of RuO2 thin films prepared by modified atomic layer deposition Kim, Jin-Hyock; Ahn, Ji-Hoon; Kang, Sang-Won; Roh, Jae-Sung; Kwon, Se-Hun; Kim, Ja-Yong, CURRENT APPLIED PHYSICS, v.12, pp.S160 - S163, 2012-09 |
반응성 스퍼터링법으로 형성시킨 PZT 커패시터의P-E 이력곡선의 이동현상 및 피로 특성 연구 김현호; 이원종, 전기전자재료학회논문지, v.18, no.11, pp.983 - 989, 2005-11 |
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