Showing results 1 to 3 of 3
Structural and chemical stability of Ta-Si-N thin film between Si and Cu Lee, YJ; Suh, BS; Rha, SK; Park, Chong-Ook, THIN SOLID FILMS, v.320, no.1, pp.141 - 146, 1998-05 |
Ta-base 비정질 박막의 Cu 확산 방지 특성에 관한 연구 = A study on the barrier property of Ta-base amorphous thin film against Cu diffusionlink 이윤직; Lee, Yoon-Jik; et al, 한국과학기술원, 1998 |
구리배선을 위한 Ta-Si-N박막의 미세구조와 확산방지특성에 관한 연구 = Study on the microstructure and diffusion barrier property of Ta-Si-N films for Cu metallizationlink 정병효; Jung, Byoung-Hyo; et al, 한국과학기술원, 2010 |
Discover