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O2/CF4 ECR 플라즈마를 이용한 RuO2박막의 건식식각 기구 연구 이원종; 이응직; 김종삼, 한국재료학회 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1996-01-01 |
$O_2/Cl_2$ ECR 플라즈마를 이용한 $RuO_2$ 박막의 건식 식각특성에 관한 연구 = Dry etching chacrateristics of $RuO_2$ thin film in $O_2/Cl_2$ electron cycl0tron resonance plasmalink 김종삼; Kim, Jong-Sam; et al, 한국과학기술원, 1997 |
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