Showing results 1 to 2 of 2
Alicyclic polymers for chemically amplified resists = 화학증폭형 레지스트용 지방족 고리형 고분자link Choi, Jae-Hak; 최재학; et al, 한국과학기술원, 1998 |
Synthesis and lithographic characterization of poly(N-p-(tert-butoxycarvbonyloxy)phenyl dimethacrylamide) = 폴리(N-파라-(터셔리-부톡시카르보닐옥시)페닐 디메타크릴아미드)의 합성 과및 리소그라피 특성link Kwon, Kyong-Il; 권경일; et al, 한국과학기술원, 1997 |
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