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Ta-base 비정질 박막의 Cu 확산 방지 특성에 관한 연구 = A study on the barrier property of Ta-base amorphous thin film against Cu diffusionlink 이윤직; Lee, Yoon-Jik; et al, 한국과학기술원, 1998 |
Ta-N 박막의 Cu 확산방지 특성에 관한 연구 = A study on the barrier properties of Ta-n thin films against Cu diffusionlink 장유진; Chang, You-Jean; et al, 한국과학기술원, 1999 |
TiN의 Cu 확산방지막 특성 및 그 특성 평가 방법에 관한 연구 = The properties and the characterization methods of TiN as a barrier against Cu diffusionlink 이승윤; Lee, Seung-Yun; et al, 한국과학기술원, 1996 |
고집적 FRAM용 LSCO/Ir/TaSiN 하부전극의 안정성에 관한 연구 = Stability of TaSiN diffusion barrier with LSCO/Ir hybrid bottom electrode for FRAM applicationlink 김명선; Kim, Myung-Sun; et al, 한국과학기술원, 2001 |
구리확산방지막용 질화텅스텐 박막의 열적 안정성과 미세구조 = Thermal stabilities and microstructures of $WN_x$ films as a Cu diffusion barrierlink 서봉석; Suh, Bong-Seok; et al, 한국과학기술원, 2000 |
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