보상 도핑된 ZnO 박막을 이용한 FBAR 소자의 공진 특성 연구A Study on Resonance Characteristics of FBAR Devices Using Compensatory-doped ZnO Thin Films
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이은주 | - |
| dc.contributor.author | 정상범 | - |
| dc.contributor.author | 박재돈 | - |
| dc.contributor.author | 윤기완 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-29T18:56:14Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-29T18:56:14Z | - |
| dc.date.created | 2012-11-05 | - |
| dc.date.issued | 2012-11-03 | - |
| dc.identifier.citation | 한국ITS학회 2012년 추계학술대회, v., no., pp.33 - 37 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/172997 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국ITS학회 | - |
| dc.title | 보상 도핑된 ZnO 박막을 이용한 FBAR 소자의 공진 특성 연구 | - |
| dc.title.alternative | A Study on Resonance Characteristics of FBAR Devices Using Compensatory-doped ZnO Thin Films | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 33 | - |
| dc.citation.endingpage | 37 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국ITS학회 2012년 추계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 이은주 | - |
| dc.contributor.localauthor | 박재돈 | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤기완 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정상범 | - |
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