대면적 미세형상 가공시스템 - 초정밀 레이저 길이측정 기술 개발Large aperture – Development of high precision laser based length measurement technology
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 현상원 | - |
| dc.contributor.author | 김영진 | - |
| dc.contributor.author | 천병재 | - |
| dc.contributor.author | 김윤석 | - |
| dc.contributor.author | 김승우 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-29T08:22:24Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-29T08:22:24Z | - |
| dc.date.created | 2012-03-20 | - |
| dc.date.issued | 2010-05-26 | - |
| dc.identifier.citation | 한국정밀공학회 2010 춘계학술대회, v.10, no., pp.619 - 620 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/169364 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국정밀공학회 | - |
| dc.title | 대면적 미세형상 가공시스템 - 초정밀 레이저 길이측정 기술 개발 | - |
| dc.title.alternative | Large aperture – Development of high precision laser based length measurement technology | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.volume | 10 | - |
| dc.citation.beginningpage | 619 | - |
| dc.citation.endingpage | 620 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국정밀공학회 2010 춘계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 현상원 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김영진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 천병재 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김윤석 | - |
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