금속 구조물에 적용 가능한 박막형 다결정 실리콘 게이지의 성능평가 및 모델링

Cited 0 time in webofscience Cited 0 time in scopus
  • Hit : 313
  • Download : 0
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.author김용대-
dc.contributor.author권세진-
dc.date.accessioned2013-03-29T01:59:26Z-
dc.date.available2013-03-29T01:59:26Z-
dc.date.created2012-03-20-
dc.date.issued2010-02-24-
dc.identifier.citation제17회 한국반도체 학술대회 (KCS 2010), v., no., pp.159 - 159-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/168020-
dc.languageKOR-
dc.publisher한국반도체학술대회-
dc.title금속 구조물에 적용 가능한 박막형 다결정 실리콘 게이지의 성능평가 및 모델링-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.beginningpage159-
dc.citation.endingpage159-
dc.citation.publicationname제17회 한국반도체 학술대회 (KCS 2010)-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.contributor.localauthor권세진-
dc.contributor.nonIdAuthor김용대-
Appears in Collection
AE-Conference Papers(학술회의논문)
Files in This Item
There are no files associated with this item.

qr_code

  • mendeley

    citeulike


rss_1.0 rss_2.0 atom_1.0