웨이퍼 비열 가공을 위한 고출력 펨토초 펄스 레이저 시스템High Power Femtosecond Pulse Laser System for Non-thermal Wafer Dicing
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 한승회 | - |
| dc.contributor.author | 김윤석 | - |
| dc.contributor.author | 김승만 | - |
| dc.contributor.author | 박상욱 | - |
| dc.contributor.author | 박지용 | - |
| dc.contributor.author | 김승우 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-29T01:50:44Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-29T01:50:44Z | - |
| dc.date.created | 2012-03-20 | - |
| dc.date.issued | 2011-06 | - |
| dc.identifier.citation | 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/167952 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국정밀공학회 | - |
| dc.title | 웨이퍼 비열 가공을 위한 고출력 펨토초 펄스 레이저 시스템 | - |
| dc.title.alternative | High Power Femtosecond Pulse Laser System for Non-thermal Wafer Dicing | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 한승회 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김윤석 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김승만 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박상욱 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박지용 | - |
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