DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 김영식 | - |
dc.contributor.author | 김승우 | - |
dc.date.accessioned | 2013-03-18T21:09:02Z | - |
dc.date.available | 2013-03-18T21:09:02Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 2003-02-13 | - |
dc.identifier.citation | 한국광학회 제14회 정기총회 및 2003년도 동계학술발표회 , v., no., pp.88 - 89 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/152454 | - |
dc.description.abstract | 산업이 고도로 발달함에 따라 생산 부품의 소형화와 정밀도가 크게 요구되고 있다. 특히 최첨단 제품인 반도체와 광통신 부품, 그리고 광학 부품 등에 있어 이러한 추세가 두드러지게 나타나고 있다. 이에 따라 이들 부품들에 대한 제조 공정 못지 않게 초정밀 측정에 대한 관심도 꾸준히 늘고 있다. 뿐만아니라 요즘 새롭게 부각되고 있는 생명 공학 기술(Bio-Technology)과 나노기술(Nano-Technology)을 이용한 바이오센서나 칩, 그리고 타소 나노 튜브 등을 제작하거나 검사를 할 때도 초정밀 측정을 필요로 하게 된다. | - |
dc.language | KOR | - |
dc.publisher | 한국광학회 | - |
dc.title | 가상의 백색광 주사 간섭계의 개발 | - |
dc.title.alternative | Virtual White-light Scanning Interferometer | - |
dc.type | Conference | - |
dc.type.rims | CONF | - |
dc.citation.beginningpage | 88 | - |
dc.citation.endingpage | 89 | - |
dc.citation.publicationname | 한국광학회 제14회 정기총회 및 2003년도 동계학술발표회 | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김영식 | - |
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