L∞ metric을 이용한 다각형의 보로노이 다이어그램 계산과 마스크없는 리소그라피에의 적용
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 박언진 | ko |
| dc.contributor.author | 신하용 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-03-18T18:46:43Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-18T18:46:43Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2005-11-25 | - |
| dc.identifier.citation | 대한산업공학회 2005 추계학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/151336 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한산업공학회 | - |
| dc.title | L∞ metric을 이용한 다각형의 보로노이 다이어그램 계산과 마스크없는 리소그라피에의 적용 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 대한산업공학회 2005 추계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 연세대학교 | - |
| dc.contributor.localauthor | 신하용 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박언진 | - |
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