Browse "Dept. of Industrial and Systems Engineering(산업및시스템공학과)" by Author 서정헌
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| Equipment Front-End Module을 포함한 다중 슬롯 클러스터 장비에 대한 EFSM 모델링 서정헌; 이태억, 2019 대한산업공학회 추계학술대회, pp.3453, 대한산업공학회, 2019-11-08 |
| 센서 기반 클리닝을 실시하는 클러스터 장비에 대한 피드백 기반 웨이퍼 지연 제어 서정헌; 이태억, 대한산업공학회/한국경영과학회 2021년 춘계 공동학술대회, pp.4911 - 4931, 대한산업공학회/한국경영과학회, 2021-06-04 |
| 혼류 생산을 시행하는 클러스터 장비의 효율적인 로드락 작업 규칙 도출 서정헌; 이태억, 대한산업공학회/한국경영과학회 2022년 춘계 공동학술대회, 대한산업공학회/한국경영과학회, 2022-06-02 |
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Open Access
Date issued
- 595 2020 - 2024
- 1,944 2010 - 2019
- 1,604 2000 - 2009
- 1,156 1990 - 1999
- 507 1980 - 1989