Showing results 1 to 2 of 2
CIM 관련 국내 표준화 환경에 대한 조사 연구 이호길; 강인필; 서효원; 정경렬; 김홍석; 김용성; 박홍성; et al, 산업공학(IE INTERFACES), v.8, no.3, pp.111 - 121, 1995-09 |
중첩계측오차를 보정하기 위한 계측시스템 및 이를 이용한계측방법(Measuring system for correcting overlay measurement error and method of measurement using the system) 이문상; 염봉진; 김홍석; 김관우; 김승현; 박찬훈, 2008-03-20 |
Discover