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다중 슬롯 클러스터 장비의 안정상태 스케줄링 분석 = Steady state scheduling analysis of multi-slot cluster toolslink 김용문; Kim, Yong-Moon; et al, 한국과학기술원, 2003 |
챔버 클리닝 공정을 포함하는 다중 슬롯 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of multi-slot cluster tools with chamber cleaning operationlink 지영준; 이태억; et al, 한국과학기술원, 2017 |
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