Showing results 1 to 2 of 2
Detection and clustering of mixed-type defect patterns in Wafer Bin maps = 웨이퍼 빈 맵의 혼합된 형태의 결함 패턴 탐지 및 분류link Kim, Jinho; 김진호; et al, 한국과학기술원, 2016 |
Feedback control of cluster tools with time constraints = 시간 제약을 가지는 클러스터 장비의 피드백 제어link Kim, Chulhan; 김철한; et al, 한국과학기술원, 2015 |
Discover