미소유체소자의 제작을 위한 양면 노광 3차원 후막 감광막 몰드 형성 기술 연구
- Issue Date
- 2003
- Language
- KOR
- Citation
제5회 한국 MEMS 학술대회, pp.30 - 33
- Appears in Collection
- RIMS Conference Papers
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