전자빔 밀도 지도를 이용한 광결정 제작시 발생하는 근접 효과 보정

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dc.contributor.author강주형-
dc.contributor.author김선경-
dc.contributor.author김세헌-
dc.contributor.author이용희-
dc.date.accessioned2013-03-18T08:48:10Z-
dc.date.available2013-03-18T08:48:10Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued2006-07-13-
dc.identifier.citation한국광학회 하계학술발표회, v., no., pp. --
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/146662-
dc.languageKOR-
dc.publisher한국광학회-
dc.title전자빔 밀도 지도를 이용한 광결정 제작시 발생하는 근접 효과 보정-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.publicationname한국광학회 하계학술발표회-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.contributor.localauthor이용희-
dc.contributor.nonIdAuthor강주형-
dc.contributor.nonIdAuthor김선경-
dc.contributor.nonIdAuthor김세헌-
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PH-Conference Papers(학술회의논문)
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