웨이퍼 단위 공정에의 적용을 위한 PDMS 수축률의 실험적 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이석우 | - |
| dc.contributor.author | 이승섭 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-18T07:39:33Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-18T07:39:33Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.citation | 제7회 한국 MEMS 학술대회, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/146108 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 웨이퍼 단위 공정에의 적용을 위한 PDMS 수축률의 실험적 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 제7회 한국 MEMS 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 이승섭 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이석우 | - |
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