MEMS process 비용 절감을 위한 두꺼운 포토레지스트에서 완전한 에지 비드 효과 방지
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이병철 | - |
| dc.contributor.author | 장성일 | - |
| dc.contributor.author | 윤준보 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-18T05:29:02Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-18T05:29:02Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2006-04-06 | - |
| dc.identifier.citation | 제8회 한국MEMS 학술대회, v., no., pp.528 - 532 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/145154 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | MEMS process 비용 절감을 위한 두꺼운 포토레지스트에서 완전한 에지 비드 효과 방지 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 528 | - |
| dc.citation.endingpage | 532 | - |
| dc.citation.publicationname | 제8회 한국MEMS 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이병철 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 장성일 | - |
- Appears in Collection
- EE-Conference Papers(학술회의논문)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.