고압 RF 축전결합 방전에서 방전모드 전이
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 문세연 | - |
| dc.contributor.author | 김단비 | - |
| dc.contributor.author | 이준규 | - |
| dc.contributor.author | 최원호 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-17T04:17:10Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-17T04:17:10Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2005-10 | - |
| dc.identifier.citation | 제81회 한국물리학회 가을 학술발표대회, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/139730 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 고압 RF 축전결합 방전에서 방전모드 전이 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 제81회 한국물리학회 가을 학술발표대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 최원호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 문세연 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김단비 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이준규 | - |
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