기계적 비선형 변조기를 이용한 디지털 구동의 안정화와 나노 구동정도 구현을 위한 디지털 마이크로엑추에이터
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이원철 | - |
| dc.contributor.author | 진영현 | - |
| dc.contributor.author | 조영호 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-16T22:43:48Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-16T22:43:48Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2002-04-12 | - |
| dc.identifier.citation | 제4회 한국 MEMS 학술대회, v., no., pp.83 - 88 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/136822 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 기계적 비선형 변조기를 이용한 디지털 구동의 안정화와 나노 구동정도 구현을 위한 디지털 마이크로엑추에이터 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 83 | - |
| dc.citation.endingpage | 88 | - |
| dc.citation.publicationname | 제4회 한국 MEMS 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 조영호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이원철 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 진영현 | - |
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- BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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