기계적 비선형 변조기를 이용한 디지털 구동의 안정화와 나노 구동정도 구현을 위한 디지털 마이크로엑추에이터

Cited 0 time in webofscience Cited 0 time in scopus
  • Hit : 302
  • Download : 0
Issue Date
2002-04-12
Language
KOR
Citation

제4회 한국 MEMS 학술대회, pp.83 - 88

URI
http://hdl.handle.net/10203/136822
Appears in Collection
BiS-Conference Papers(학술회의논문)
Files in This Item
There are no files associated with this item.

qr_code

  • mendeley

    citeulike


rss_1.0 rss_2.0 atom_1.0