기계적 비선형 변조기를 이용한 디지털 구동의 안정화와 나노 구동정도 구현을 위한 디지털 마이크로엑추에이터

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Issue Date
2002-04-12
Language
KOR
Citation

제4회 한국 MEMS 학술대회, pp.83 - 88

URI
http://hdl.handle.net/10203/136822
Appears in Collection
BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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