유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 강상원 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-03-16T22:42:41Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-16T22:42:41Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2002-06 | - |
| dc.identifier.citation | 한국진공학회 제23회 학술발표회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/136813 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국진공학회 | - |
| dc.title | 유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국진공학회 제23회 학술발표회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 강원대학교 자연과학관 | - |
| dc.contributor.localauthor | 강상원 | - |
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