방사형 자기장 내의 전기도금된 평면코일을 이용한 전자기형 마이크로 액추에이터

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Issue Date
1999-04
Language
KOR
Citation

제1회 MEMS 학술대회, pp.29 - 36

URI
http://hdl.handle.net/10203/136809
Appears in Collection
BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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