DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 노광수 | - |
dc.contributor.author | 김성관 | - |
dc.contributor.author | 김형도 | - |
dc.contributor.author | 김정민 | - |
dc.contributor.author | 김상호 | - |
dc.date.accessioned | 2013-03-16T21:45:32Z | - |
dc.date.available | 2013-03-16T21:45:32Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 2002-05-01 | - |
dc.identifier.citation | 한국재료학회 춘계학술발표, v., no., pp. - | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/136210 | - |
dc.language | KOR | - |
dc.publisher | 한국재료학회 | - |
dc.title | 157 nm 광리소그래피 위상변위 마스크용 Si-O-N-F 박막의 특성연구 | - |
dc.type | Conference | - |
dc.type.rims | CONF | - |
dc.citation.publicationname | 한국재료학회 춘계학술발표 | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.contributor.localauthor | 노광수 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김성관 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김형도 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김정민 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김상호 | - |
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