DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 이재영 | - |
dc.date.accessioned | 2013-03-16T20:24:12Z | - |
dc.date.available | 2013-03-16T20:24:12Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 1999 | - |
dc.identifier.citation | 대한금속학회 추계학술대회, v., no., pp. - | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/135457 | - |
dc.language | KOR | - |
dc.title | 마이크로웨이브 플라즈마 가열에 의한 비정질 실리콘 / 미세 결정질 실리콘 이층박막의 고상결정화 | - |
dc.type | Conference | - |
dc.type.rims | CONF | - |
dc.citation.publicationname | 대한금속학회 추계학술대회 | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.contributor.localauthor | 이재영 | - |
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