PECVD 법으로 증착한 PZT박막의 fatigue 특성 및 누설전류 특성에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이원종 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-03-16T14:14:49Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-16T14:14:49Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2001-05 | - |
| dc.identifier.citation | 한국재료학회 춘계학술발표대회, pp.0 - 0 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/132036 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국재료학회 | - |
| dc.title | PECVD 법으로 증착한 PZT박막의 fatigue 특성 및 누설전류 특성에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 0 | - |
| dc.citation.endingpage | 0 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국재료학회 춘계학술발표대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 공주대학교 제1공학관 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이원종 | - |
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