고감지전압 및 가지전극을 이용한 자율균형력 발생 고정도 정전용량형 미소가속도계

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dc.contributor.author한기호-
dc.contributor.author조영호-
dc.date.accessioned2013-03-16T13:57:13Z-
dc.date.available2013-03-16T13:57:13Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued2002-04-12-
dc.identifier.citation제4회 MEMS 학술대회, v., no., pp.24 - 29-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/131915-
dc.languageKOR-
dc.title고감지전압 및 가지전극을 이용한 자율균형력 발생 고정도 정전용량형 미소가속도계-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.beginningpage24-
dc.citation.endingpage29-
dc.citation.publicationname제4회 MEMS 학술대회-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.contributor.localauthor조영호-
dc.contributor.nonIdAuthor한기호-
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BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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