사각고리형 AuSn 합금박막을 이용한 MEMS 밀봉 패키징 및 특성시험
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 서영호 | - |
| dc.contributor.author | 김성아 | - |
| dc.contributor.author | 조영호 | - |
| dc.contributor.author | 김근호 | - |
| dc.contributor.author | 부종욱 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-16T13:56:43Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-16T13:56:43Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2002-10-11 | - |
| dc.identifier.citation | 대한기계학회 생산 및 설계공학부문 추계학술대회, v., no., pp.24 - 28 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/131913 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 대한기계학회 | - |
| dc.title | 사각고리형 AuSn 합금박막을 이용한 MEMS 밀봉 패키징 및 특성시험 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 24 | - |
| dc.citation.endingpage | 28 | - |
| dc.citation.publicationname | 대한기계학회 생산 및 설계공학부문 추계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 조영호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 서영호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김성아 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김근호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 부종욱 | - |
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