기판에 수직으로 진동하는 다공 평판 미소구조물의 공기감쇠
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김응삼 | - |
| dc.contributor.author | 조영호 | - |
| dc.contributor.author | 김문언 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-16T13:25:37Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-16T13:25:37Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1999-04-17 | - |
| dc.identifier.citation | 제1회 MEMS 학술대회, v., no., pp.115 - 120 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/131756 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 기판에 수직으로 진동하는 다공 평판 미소구조물의 공기감쇠 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 115 | - |
| dc.citation.endingpage | 120 | - |
| dc.citation.publicationname | 제1회 MEMS 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 조영호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김응삼 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김문언 | - |
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- BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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