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An ellipsometric data acquisition method for thin film thickness measurement in real time Ye, Sang-Heon; Kim, Soohyun; Kwak, Yoon Keun; Cho, Hyun Mo; Cho, Yong Jai; Chegal, Won, MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY, v.19, 2008-04 |
박막의 실시간 타원계측을 위한 초점형 환상(環狀) 측정 방법에 대한 연구 = Peripheral measurement method for real-time ellipsometric data acquisition of thin filmslink 예상헌; Ye, Sang-Heon; et al, 한국과학기술원, 2008 |
타원편광분석기의 입사각 정렬에 관한 연구 = Incidence angle alignment method for ellipsometerlink 예상헌; Ye, Sang-Heon; et al, 한국과학기술원, 2002 |
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