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레이저간섭계의 위치결정정밀도 측정오차 개선 황주호; 박천홍; 이찬홍; 김승우, 한국정밀공학회지, v.21, no.9, pp.167 - 173, 2004-09 |
스캐닝 방식 XY 스테이지의 운동오차 분석 황주호; 박천홍; 이찬홍; 김동익; 김승우, 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 , pp.1380 - 1383, 한국정밀공학회, 2004 |
평면 XY 공기정압 스테이지의 운동특성 분석 황주호; 박천홍; 이찬홍; 김승우, 한국정밀공학회 2003년 춘계학술대회 , pp.359 - 362, 한국정밀공학회, 2003 |
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