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VCM을 이용한 나노 정밀도 스캐닝 용 초정밀 이중 스테이지 김기현; 권대갑; 최영만; 김동민; 남병욱; 이석원; 이문구, 한국정밀공학회지, v.22, no.5, pp.103 - 112, 2005-05 |
보이스 코일 모터와 할바흐 자석 배열 선형 모터를 이용한 초정밀 이중 서보 스테이지 설계와 제어에 관한 연구 = Design and control of ultra-precision dual servo stage using voice coil motor and halbach magnet array linear motorlink 김기현; Kim, Ki-Hyun; et al, 한국과학기술원, 2006 |
영구 자석과 전자석의 상호작용을 이용한 초정밀 양방향 구동기 설계 김기현; 권대갑, 한국정밀공학회지, v.22, no.9, pp.147 - 154, 2005-09 |
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