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패드 단일미세돌기 접촉점에서의 화학적기계연마 연마성능 분석 및 개선 방안 = Study on characterization and improvement of CMP performance at single contact point of pad micro-asperitylink 류현준; 김산하; et al, 한국과학기술원, 2021 |
패드 단일미세접촉점에서의 화학적 기계연마 공정 분석 류현준; 김동근; 강석경; 정지훈; 김산하, 2020년도 한국트라이볼로지학회 제69회 학술대회, 한국트라이볼로지학회, 2020-09-25 |
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