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기구학적 커플링을 이용한 3축 정밀 스테이지의 설계, 특성분석 및 타원편광분석기 입사각 정렬에의 응용 = Design, analysis of 3-axis precision stage using kinematic coupling and an application to incident angle alignment of ellipsometerlink 정재화; Jeong, Jae-Hwa; et al, 한국과학기술원, 2000 |
타원편광분석기의 입사각 정렬에 관한 연구 = Incidence angle alignment method for ellipsometerlink 예상헌; Ye, Sang-Heon; et al, 한국과학기술원, 2002 |
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