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AFM을 이용한 MEMS/NEMS 공정용 재료의 트라이볼로지 특성에 관한 연구 허정철; 김경웅; 김광섭, 한국윤활학회지, v.24, no.2, pp.63 - 71, 2008-04 |
고성능 바이오센서 마이크로 어레이칩의 제조에 관한 연구 = A study on fabrication process of highly effective biosensor microarraylink 김종수; Kim, Jong-Su; et al, 한국과학기술원, 2012 |
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